特点

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  设备参数
  - 设备尺寸：1330mm X 1230mm X 1700mm
  - 设备重量：约 1吨
  - 电压：3相220V 60Hz 10KVA
  - 压缩空气：超过6kg 
  
  
  
  				

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  硬件
  - 含有激光位移传感器，CCD摄像头和LED环形照明的测头设计
  - 通过采用可提供宽焦距的远心镜头来最大程度地减少节拍时间
  - 晶圆载板门自动开合系统
  - 通过旋转工作台可以在各个方向进行测量
  - 提供设备检查校具以检查设备误差
  - 定制的硬件/ UI软件