特点

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  设备参数
  - Y轴：花岗岩导轨+空气轴承
     - 花岗岩平面度：<±3um
     - 空气轴承类型：单孔类型
  - 真空吸盘
     - 卡盘平整度：整个区域±5um
     - 卡盘真空吸力：600mmHg
  - LVDT传感器
     - 测量范围：±1mm
     - 精度：1um
     - 重复性0.15um 
  				

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  硬件
  - 两个样品的薄膜涂层（200mm X 100mm，50mm X 50mm）
  - 可以使用精密转台，实时监控和主动操作来进行薄膜涂覆
  - 基于空气轴承的精密平台
  - Z轴双驱动装置即使连续输入产品也可实现稳定的左右倾斜应用
  - 精确控制涂料注射器和喷嘴流量均匀